Россия и Белоруссия объединили усилия для создания линейки
оборудования для производства фотошаблонов и фотолитографии. В кооперации с
белорусским ОАО «Планар» разрабатываются девять установок, которые должны
закрыть критически важные звенья в технологической цепочке производства чипов.
23 Июля 2026 17:19 23 Июл 2026 17:19 |
Россия и Белоруссия объединили усилия для создания линейки оборудования для производства фотошаблонов и фотолитографии. В кооперации с белорусским ОАО «Планар» разрабатываются девять установок, которые должны закрыть критически важные звенья в технологической цепочке производства чипов.
Девять проектовКак выяснил CNews, российский предприятия в кооперации с белорусским ОАО «Планар» разрабатывает девять установок, которые должны закрыть критически важные звенья в технологической цепочке производства чипов.
Согласно презентации директора департамента станкостроения Минпромторга Валерия Пивеня, совместные проекты с ОАО «Планар» охватывают практически всю технологическую цепочку производства фотошаблонов: от создания рисунка на фотошаблоне до контроля его дефектов. Фотошаблон — это стеклянная пластина с рисунком топологии микросхемы, которая используется в фотолитографии как «негатив» для переноса изображения на кремниевую пластину.
Какие разработкиВ перечень разработок входят генератор изображений на фотошаблонах для техпроцессов 90–65 нм («Процесс ГИФ», 2025 г.), установка контроля топологии на фотошаблонах для тех же норм («Процесс КТФ», 2024 г.).

Россия и Белоруссия разрабатывают линейку для производства чипов
В 2026 г. запланировано создание сразу нескольких установок: переноса меток совмещения на обратную сторону пластины («Прогресс-Перенос»), контроля координат топологических элементов («Прогресс-Контроль»), лазерного устранения дефектов («Прогресс-Ретушь») и контроля привносимой дефектности («Прогресс-КДПП»). На 2027 г. запланирована установка контроля полутоновых маскирующих покрытий («Прогресс ПМП»).
О том, что Россия и Белоруссия совместно работают над созданием фотолитографов на 350 и 130 нм, CNews уже писал ранее. Нынешний проект расширяет сотрудничество на другие, не менее критичные типы оборудования для производства фотошаблонов.
Создание генератора изображений для фотошаблонов — одна из ключевых разработок. Это оборудование формирует рисунок топологии на фотошаблоне с высокой точностью, необходимой для выпуска современных микросхем. Установки контроля топологии и координат проверяют правильность нанесения рисунка, выявляют отклонения и дефекты, а установка лазерной ретуши позволяет исправлять мелкие дефекты на фотошаблоне без необходимости его переделки. Установка переноса меток совмещения, в свою очередь, необходима для точного совмещения слоёв при производстве многослойных чипов.
Чей вклад больше?На «Планаре» сосредоточена компетенция по созданию сложных установок для фотошаблонов, которая сохранилась с советских времен, рассказал CNewsпартнер практики «Промышленность и технологии» Strategy Partners Роман Тиняев.
«Инженерная и производственная работа лежит на белорусском предприятии, — говорит Тиняев. — Российская сторона выступает в роли заказчика, методолога, интегратора и финансирует работы».
По его мнению, сотрудничество с «Планаром» — необходимая кооперация, безусловно, являющаяся тактическим успехом. Благодаря «Планару» Россия закрывает критические ниши в производственной цепочке (от записи топологического рисунка на фотошаблонную заготовку через многоуровневый контроль до лазерной коррекции дефектов), заключил Тиняев.
Как мигрировать в облако без простоев и лишних затрат Цифровизация
Россия уже реализует собственные проекты в области электронного машиностроения, развивает инфраструктуру производства фотошаблонов, инвестирует в создание технологического оборудования и формирует новые производственные мощности. Это означает, что развитие собственной инженерной базы идет независимо от конкретного проекта с «Планаром», считает руководитель проектов холдинга SNDGLOBAL Константин Лапотко.
Независимый эксперт и автор Telegram-канала RUSMicro Алексей Бойко полагает, что в ближайшие годы мы можем увидеть установки для фотолитографии, разработанные полностью российскими компаниями.
Чем известно «Планар»ОАО «Планар» — белорусский производитель оборудования для микроэлектроники, один из ключевых игроков на постсоветском пространстве. Компания базируется в Минске и специализируется на создании установок для фотолитографии, контроля и измерения параметров полупроводниковых пластин и фотошаблонов. Сотрудничество с «Планаром» позволяет России получить доступ к технологиям и производственным мощностям, которые в самой стране пока отсутствуют.
Совместные проекты с «Планаром» вписываются в программу развития электронного машиностроения, цель которой — к 2030 г. заместить около 70% импортного оборудования и материалов для микроэлектроники. На программу предусмотрено более 240 млрд руб. бюджетного финансирования.