ASML will über die nächsten 2,5 Jahre deutlich mehr Lithografie-Systeme herstellen als bisher. Die niederländische Firma untermauert damit frühere Aussagen, nicht zum Flaschenhals der Halbleiterwelt zu werden. Alle großen Chip- und Speicherhersteller sind von ASML abhängig: TSMC, Samsung, Intel, SK Hynix, Micron und viele weitere.

ASML ist weltweit die einzige Firma, die Lithografie-Systeme mit extrem-ultravioletter (EUV-)Belichtungstechnik herstellt. Solche Modelle mit einer Lichtwellenlänge von 13,5 nm sind zur Erstellung der feinsten Strukturen in Chips notwendig. TSMC und Samsung verwenden sie seit der 7-Nanometer-Generation, Intel seit der 4er.

Ein Blick auf China zeigt die Auswirkungen fehlender EUV-Systeme: Der chinesische Chipauftragsfertiger SMIC und Huawei haben Probleme, 7-nm-Chips mit hoher Ausbeute herzustellen, die sich mit noch feineren Strukturen nur weiter verstärken.

Zweimal 30 Prozent mehr

Aktuell kann ASML laut eigenen Aussagen 65 EUV-Systeme pro Jahr herstellen. 2027 sollen es 30 Prozent mehr werden, also etwa 85. Gemeint ist die aktuelle Generation mit niedriger numerischer Apertur. Ein System kostet 170 Millionen bis 200 Millionen Euro. Der Jahresumsatz müsste also um mindestens 3,4 Milliarden Euro steigen. Aktuell prüft ASML, ob 2028 eine weitere Steigerung um 30 Prozent möglich wäre.

Zusätzlich will ASML nächstes Jahr 30 Prozent mehr Lithografie-Systeme mit tief-ultravioletter (DUV-)Belichtungstechnik herstellen. Ausgehend von derzeit 130 wären das dann 169. Auch hier steht eine Erhöhung um weitere 30 Prozent im Jahr 2028 im Raum.

DUV-Licht hat eine Wellenlänge von 193 nm und wird auch bei modernen Chips für die Metalllagen zur Verbindung der Transistoren benötigt. ASML meint sogenannte Immersions-DUV-Systeme, die eine Flüssigkeit zwischen Belichtungsmaske und Wafer verwenden, um die Belichtungsqualität zu verbessern. Solche Maschinen sollen bei 60 Millionen Euro starten. 39 zusätzliche Geräte entsprächen somit mindestens 2,3 Milliarden Euro Umsatz.

Für die Produktionserhöhung muss ASML auch deutsche Unternehmen ins Boot holen, etwa Zeiss für die Linsen und Spiegel sowie Trumpf für die Laser. Das erschwert die Skalierung.

Unerwartet gute Zahlen

Schon aktuell fällt der Umsatz mit gut 9,3 Milliarden Euro im zweiten Quartal 2026 höher aus als erwartet. Deswegen korrigiert ASML auch die Jahresprognose nach oben: von 36 Milliarden bis 40 Milliarden Euro auf 43 Milliarden bis 45 Milliarden Euro. 2025 waren es noch 32,7 Milliarden.

ASMLs Umsatzaufschlüsselung. Mit „ArFi“ meint das Unternehmen DUV-Immersions-Systeme. EUV-Geräte machen längst den meisten Umsatz aus, weil die Kosten pro System höher sind. Der Umsatz in Japan dürfte wegen Halbleiterwerken von TSMC und Rapidus steigen.

(Bild: ASML)

Den Nettogewinn des zweiten Quartals beziffert ASML auf gut 2,9 Milliarden Euro, knapp sechs Prozent mehr als im vorherigen. Die Ausgaben für Forschung und Entwicklung steigen kontinuierlich weiter, auf einen Firmenrekordwert von nunmehr fast 1,3 Milliarden Euro.

ASMLs Aktie hat sich seit Bekanntgabe der Geschäftszahlen auf ein Tagesplus von knapp drei Prozent eingependelt.

(mma)